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液态金属印刷应用

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液态金属直接打印通过分配尖端(通常是注射器针头)将液态金属挤出到目标基材附近。通常,分配尖端或基底被附接到可以按照程序移动的电动平台。与光刻辅助的图案形成对比,直接印刷在洁净室中不需要任何准备工作。液态金属直接打印的一种简单方法是液态金属滚珠笔方法。使用笔进行的图案化使用填充有EGaIn墨水的圆珠笔。通常,球直径在200至1000 微米范围内,因此笔法非常适合于对具有较大线宽的液态金属进行图案化。

也可以通过将微尖端浸入EGaIn,然后逐点在基板上对EGaIn进行构图来进行打印。当创建间距小于直径的小点时,它们会合并并形成图案。在更高级的平台上,使用电动XY平台和注射泵执行液态金属印刷。尽管这种先进的直接打印比笔或微尖端方法更有效,但由于注射泵中的脉动,所产生的图案显示出起伏。为了消除起伏,注射泵已被气动压力源和电子压力调节器取代。保持尖端与基底之间的距离以获得均匀的液态金属图案也很重要。为此,首先通过电动XYZ平台演示距离反馈控制,以在弹性体基材上沿一个方向打印线性图案。借助于喷嘴尖端-基底距离控制,即使图案化基底局部不规则,也可以可靠地对EGaIn进行图案化。后来,扩展了相同的概念,以实现在各种不平坦表面的顶部具有尖角的分段线性模式。该新系统使用电动XYZ平台,电动旋转平台,激光位移传感器以及电子压力调节器构成。附加的旋转自由度即使在改变图案方向时也可以实现连续的EGaIn图案。旋转台可以控制激光位移传感器,并使其始终在图案喷嘴之前。因此,可以在倾斜或弯曲的基板上印刷任意的分段线性图案。




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